Óxido de alumínio fundido branco 15-20um para jato de areia húmido de wafer de silício
Depois de fatiar o wafer de silício, o tratamento com jato de areia pode remover a camada de óxido e melhorar o nivelamento. O método de jato de areia normalmente utilizado é o microjateamento húmido. O meio de jato de areia para esta aplicação é o pó de óxido de alumínio fundido branco 15-20um.
O pó de óxido de alumínio fundido branco é finamente processado a partir de alumina fundida, com um tamanho de partícula uniforme e uma elevada eficiência de moagem. Ao mesmo tempo, o pó WFA 15-20um é seco por precipitação excessiva. Assim, apresenta uma boa fluidez sem aglomeração ou grumos.
COMPOSIÇÃO QUÍMICA do óxido de alumínio fundido branco 15-20um:
Artigo | Valor de garantia (%) | Valor típico (%) |
Al2O3 | ≥99,2 | 99,55 |
Fe2O3 | ≤0,04 | 0,02 |
SiO2 | ≤0,20 | 0,11 |
Na2O | ≤0,30 | 0,22 |
MgO | ≤0,05 | 0,04 |
Alto | ≤0,05 | 0,03 |
K2O | ≤0,05 | 0,04 |
PROPRIEDADES FÍSICAS :
Peso Específico | Dureza | Valor de PH | Ponto de fusão |
3,95g/ cm3 | Escala 9,0Mohs | 7-9,5 | 2050°C |
DISTRIBUIÇÃO DO TAMANHO DAS PARTÍCULAS (Analisador Laser LS609) :
Tamanho | Malha de óxido de alumínio fundido branco 800 | Malha de óxido de alumínio fundido branco 1000 |
D10 | ≥10 um | ≥8 um |
D50 | 18-21 um | 14-17 um |
D90 | ≤33 um | ≤28 um |